招标书11009--OLED器件制备系统

时间:2011-04-02浏览:10发布者:js9905com金沙网站  来源:手机版金沙城娱乐场  摄影:????通讯员:设置

 

 
 
各企业、厂商:
  js9905com金沙网站上海市现代光学系统重点实验室因科研需求,特采购OLED器件制备系统一台。现在网上公开招供应商,欢迎各单位参与投标。
  一、设备要求
  1、设备名称:OLED器件制备系统
  2、技术指标:
  (1)真空室:含镀膜室及手套箱各一套
  镀膜室净尺寸:L×W×H:400×400×H450;不锈钢方箱式,前后开门,前滑开门,配有金属密封的观察窗及腔室照明及膜厚仪等预留接口;
  (2)真空系统
   排气性能:优于5.0 E-5Pa;(复合分子泵系统)
   恢复真空:从大气抽至10-4Pa≤40min;
   漏气速率:低于9.0E-5Pa.m3/秒
  (3)基片台:
  可装载3英寸基片; 基片台磁流体密封,可旋转,加热:室温~300℃,PID 智能温控系统;坩埚~样品垂直距离≥300mm(可调整);
装载基片膜厚均匀性优于±5﹪
  (4)蒸发源:
  五组电阻蒸发源,有机及金属蒸发,配坩埚挡板;配蒸发电源功率:1/2KW 可共蒸或分蒸;
  (5) 镀膜控制系统:逻辑控制及保护系统;
  (6)膜厚监测系统
    采用进口美国智能晶振膜厚仪在线监测、控制膜厚,1套水冷探头。
  (7)冷却循环及水冷保护系统,配循环水机,为镀膜系统提供所需恒温的冷却循环水;
  (8)设备验收:
  ① 金属Al膜:膜料铝颗粒,膜厚>1μm,φ30mm,单片测量4个点,均匀性优于±4﹪,片间均匀性优于±5﹪,光洁度好,重复成膜一次;
  ② 有机小分子Alq3膜,膜厚20nm,单片测量4个点,膜厚均匀性误差±0.5nm,光洁度好,重复成膜一次
  (9)手套箱技术要求:
  ① 双人单面手套箱:并同镀膜机配合设计,有效无泄露对接及安装
  材质:全不锈钢结构﹝Type 304﹞
  ② 进口手套;并配有照明及储物架及标准预留接口
  ③ 真空系统:自动控制;真空泵选用英国Edwards真空泵。可分别对过渡舱进行抽真空,并可实现随时单独控制。真空度≤-0.1MPa(大、小右过渡舱均要求抽真空 带显示)
  ④ 控制系统方式:控制单元采用德国Siemens PLC触摸屏,操作菜单可选:中文。
  包括自诊断、断电自启动特性,具备压力控制和自适应功能。自动控制、循环控制、密码保护、真空室控制采用LCD显示。
  ⑤ 循环系统控制:水、氧控制在<1ppm,设计净化柱吸取容量:水1.3Kg 氧30L。
  循环风机、净化柱、过滤器:均采用进口厂家品牌。
  ⑥ 调节系统:通过PLC触摸式调节(加热、抽空、净化、再生)全过程无需人为监控。
  ⑦ 再生系统:用于净化系统再次利用,使其活化;再生需要N2/H2或Ar/ H 2的混合气体,其中H2占5-10%。
 
 
  二、投标资料
  对上述采购信息有意向的具有独立法人资格,有相应经营范围的厂商请于2011年4月11日(星期一)11:00前向js9905com金沙网站设备招投标办公室提供下列相应资料:
  1.相应单位资格材料:营业执照、税务登记、产品销售代理证明、法人授权证明等说明文件的复印件;
  2.提交设备报价;
  3.相应单位的联系地址,联系人、联系电话;
  4.所有文件一式二份,并加盖公章方为有效。
  三、其他:
  技术联系人 吴叶华 55270559
  投标截止时间: 2011年4月11日(星期一)上午11:00 (标书请密封并注明标号)
  标书请寄:上海市军工路516号js9905com金沙网站第二办公楼106室    邮编 200093
  联系电话(传真):55272339   缪老师
  
 
js9905com金沙网站设备招标领导小组
2011年4月2日
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