招标书11010--电子枪镀膜机

时间:2011-04-02浏览:7发布者:js9905com金沙网站  来源:手机版金沙城娱乐场  摄影:????通讯员:设置

 

 
 
各企业、厂商:
  js9905com金沙网站上海市现代光学系统重点实验室因科研需求,特采购电子枪镀膜机一台。现在网上公开招供应商,欢迎各单位参与投标。
  一、 设备要求:
  1、设备名称:电子枪镀膜机
  2、指标:
  (1)、真空室
  直径630毫米,不锈钢,水冷,前门箱式
  (2)真空系统
  真空系统配置:分子泵、直联泵
  排气性能:极限真空8.0E-5Pa;
  恢复真空:15分钟之内达到4.0E-3Pa
  漏气速率:低于9.0E-5Pa.m3/秒
  (3)工件:
  球罩形工件盘两套;
  大角度掠入射蒸发夹具一套;
  (4)蒸发源
  电子枪:功率10KW,电压8KV(,电流0~1.25A(连续可变)
  铜坩埚:水冷,光电定位
  坩埚:坩埚为六穴坩埚
  热蒸发:热阻电极三根,电源(3KW)
  (5)烘烤
  烘烤方式:碘钨灯,从下往上烘烤
       烘烤功率:烘烤4组,最高温度300°C
  (6)膜厚监测系统
  配晶振型号:SQC310,单探头
  光学膜厚控制:波长范围350-1100nm。
  光路系统:倾斜下反射、上透射光路
  (7)充气
  配质量流量计一套
  (8)采用触膜屏控制系统:
  具体功能:
  1、真空系统自动
  2、工件烘烤自动控制
  3、蒸发自动控制
  (9)配10P冷水机一台
 
 
  二、投标资料
  对上述采购信息有意向的具有独立法人资格,有相应经营范围的厂商请于2011年4月11日(星期一)11:00前向js9905com金沙网站设备招投标办公室提供下列相应资料:
  1.相应单位资格材料:营业执照、税务登记、产品销售代理证明、法人授权证明等说明文件的复印件;
  2.提交设备报价;
  3.相应单位的联系地址,联系人、联系电话;
  4.所有文件一式二份,并加盖公章方为有效。
  三、其他:
  技术联系人 :吴叶华 55270559
  投标截止时间: 2011年4月11(星期一)上午1100 (标书请密封并注明标号)
  标书请寄:上海市军工路516号js9905com金沙网站第二办公楼106室    邮编 200093
  联系电话(传真):55272339   缪老师
  
 
js9905com金沙网站设备招标领导小组
2011年4月2日
 
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